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石英深加工:石英坩埚主要指标及检测包括哪些
新闻来源: 点击数:1104 更新时间:2015-9-6 17:54:24
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初期的方石英结晶为球状,进一步的成长则是沿着坩埚壁成树枝状往侧向发展.石英筒坩埚内外表面应清洁无沾污;坩埚内外不允许有裂纹;坩埚口端部不允许有切割毛刺崩边,口端部内倒角应﹥2㎜;外观质量指标外观质量指标外观质量指标外观质量指标.
石英深加工
坩埚底部不允许有划伤、触痕;不允许有无光泽的凹坑,底部连接弧度处不允许有凹坑;有凹坑,但很光滑能满足壁厚要求,直径小于5㎜,不允许超过2只;坩埚内表面上不允许有杂质点。这是因为石英坩埚与溶液的反应时的垂直方向的成长受到抑制之故。
1.石英坩埚的主要指标包括三个方面:几何尺寸;纯度、杂质含量;外观。
几何尺寸体现了支架试验台精加工水平,由于单晶生产厂家的热场系统(主要是石墨坩埚)相对固定,因此石英坩埚的几何尺寸有统一要求。
2.由于GE坩埚进入市场较早,所以我国产品几何尺寸一般沿用了GE的标准。
3.纯度、杂质含量标准,采用了石英砂原料生产厂家的标准,由于国产坩埚都采用了进口原料,国内坩埚厂家的标准与国际标准一致。
在方石英结晶与非晶质石英坩埚壁之间通常夹杂着一层硅溶液,而在方石英结晶的边缘,通常覆盖着棕色的sio气泡。Sio气体为棕色,棕色的小圈是sio的结晶。
文章出处:
http://www.abquartz.cn
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