石英筒之洗净方法


石英筒在半导体工业设备上，使用温度经常在 1000 ℃至 1300 ℃之高温状态，
在此种状态下由于附著不纯物导致失透现象发生，失透之部分为石英之晶质化，
晶质化之变态点为 275 ℃，当石英筒自高温降至此变态温度时，表面失透之晶
质化部分与石英筒本身高温之 α 相与低温之 β 相间膨胀系数不同在急速冷却下
产生不透明之剥离状更严重时会造成破裂现象产生。为使石英制品能使用更久，
就必须注意防止造成石英失透产生的原因，
而造成失透的污染源就属碱金属、碱土金属、汗水、口水、油污、尘埃
…… 等等。且0.1mg/cm2l}k 就会造成数十倍或数百倍的失透量。

因此，防止这些污染源附著在石英表面上
除了不直接用空手去拿石英外，
使用在高温作业之前必先做清洗之工作以确保石
英表面之洁净度。


一般石英之洗净须要一些程序，
首先用纯水先冲洗表面，
再置入酸洗槽内浸泡一
些时间，取出后再用纯水冲洗后晾干。



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