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石英筒清洗注意事项
新闻来源:    点击数:955    更新时间:2018-11-19    收藏此页

石英筒在半导体产业设备上,使用温度常常在1000℃至1300℃之高温状态,在此种状态下因为附著不纯物导致失透现象发生,失透之部门为石英之晶质化,晶质化之反常点为275℃,当石英筒自高温降至此反常温度时,表面失透之晶质化部门与石英筒本身高温之α相与低温之β相间膨胀系数不同在急速冷却下产生不透明之剥离状,更严峻时会造成破裂现象产生。为使石英制品能使用更久,就必需留意防止造成石英失透产生的原因,而造成失透的污染源就属碱金属、碱土金属、汗水、口水、油污、尘埃……等等。

 

文章出自石英筒小编:http://www.abquartz.cn  

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